Абанын тазалыгы (N) | Белгиленген бөлүкчөлөрдүн өлчөмүнөн жогору же ага барабар болгон бөлүкчөлөрдүн максималдуу концентрациясынын чеги (аба бөлүкчөлөрүнүн саны/м3) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO Class1 | 10 | 2 | ||||
ISO класс 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO классы 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO классы 4 | 10 000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO классы 5 | 100 000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO классы 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO класс 7 | 352 000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO классы 8 | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | |||
ISO класс 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
PCS/M≥0,5um | ISO 14644-1(1999) | US 209E(1992) | US 209D(1988) | ЕЭК cGMP(1989) | ФРАНЦИЯ AFNOR (1981) | ГЕРМАНИЯ VDI 2083(1990) | ЖАПОНИЯ JAOA(1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3,530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4000 | 3 | 5 |
10 000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35 300 | 6 | M4.5 | 1000 | 1000 | - | 4 | 6 |
100 000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353 000 | 7 | M5.5 | 10 000 | C | 400 000 | 5 | 7 |
1 000 000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3 530 000 | 8 | M6.5 | 100 000 | D | 4 000 000 | 6 | 8 |
10 000 000 | - | M7 | - | - | - | - | - |