Автоматтык температура жана нымдуулук башкаруу
Таза бөлмөнүн температурасы жана нымдуулугу негизинен процесстин талаптарына ылайык аныкталат, бирок процесстин талаптары аткарылган шартта адамдын ыңгайлуулугу эске алынышы керек.Абанын тазалыгына талаптардын көбөйүшү менен процессте температура жана нымдуулук боюнча барган сайын катуу талаптар бар деген тенденция бар.
Иштетүү тактыгы барган сайын жакшырып бараткандыктан, температуранын өзгөрүү диапазонуна талаптар барган сайын кичирейип баратат.Мисалы, ири масштабдуу интегралдык микросхемалардын өндүрүшүнүн литографиялык экспозиция процессинде, диафрагманын материалы катары айнек менен кремний пластинкасынын жылуулук кеңейүү коэффициентинин ортосундагы айырма азыраак жана кичине болушу талап кылынат.Диаметри 100μm болгон кремний пластинкасы температура 1 градуска көтөрүлгөндө 0.24μm сызыктуу кеңейүүгө алып келет.Ошондуктан, ал ±0,1 градус туруктуу температурасы болушу керек.Ошол эле учурда нымдуулуктун мааниси көбүнчө төмөн болушу талап кылынат, анткени адам тердегенден кийин продукт булганат, айрыкча натрийден корккон жарым өткөргүч цехтери үчүн мындай таза цех 25 градустан ашпашы керек.
Ашыкча нымдуулук көбүрөөк көйгөйлөрдү жаратат.Салыштырмалуу нымдуулук 55% ашканда муздаткыч суу түтүгүнүн дубалында конденсация пайда болот.Эгер ал тактык түзүлүштө же чынжырда пайда болсо, ар кандай кырсыктарга себеп болот.Салыштырмалуу нымдуулук 50% болгондо дат басуу оңой.Кошумчалай кетсек, нымдуулук өтө жогору болгондо кремний пластинкасынын бетиндеги чаң абадагы суу молекулалары тарабынан химиялык түрдө жер бетине адсорбцияланат, аны тазалоо кыйын.Салыштырмалуу нымдуулук канчалык жогору болсо, адгезияны жоюу ошончолук кыйын болот, бирок салыштырмалуу нымдуулук 30% дан төмөн болгондо, электростатикалык күчтүн таасиринен бөлүкчөлөр да оңой адсорбцияланат жана көп сандагы жарым өткөргүчтөр түзмөктөр бузулууга жакын.кремний пластина өндүрүү үчүн мыкты температура диапазону 35 ~ 45% түзөт.
